Bei dieser Art von Messung wird die Feuchtigkeit mit elektromagnetischen Wellen sowohl zerstörungsfrei, oberflächennah (bis ca. 5 cm in den Baustoff hinein) ermittelt oder auch invasiv mit Rammelektroden.
Die Messung erfolgt über das Auflegen der am Gerät befestigten Messkugel auf dem Messgut. Man spricht von einem "dieelektrischen" Wassergehaltsmessverfahren. Je höher die Dielektrizitätskonstante, desto größer ist die Feuchtigkeit.
Das Messgerät erstellt seinen Messwert mit Hilfe ausgesandter Hochfrequenzwellen. Hierbei wird die elektrische Kapazitanz eines Kondensators gemessen, dieser stellt die zentrale Einheit des Gerätes da. Die Messelektronik verarbeitet die Kapazitanz und gibt einen verwendbaren Wert aus.
Die Normalwerte eines Baustoffs sollten bekannt sein um verlässliche Ergebnisse erwarten zu können.
Diese Messmethode wird am besten begleitend zu anderen Methoden angewendet um den genauen Ursprung der Feuchtigkeit zu finden. Man misst an mehreren Stellen eines Objektes, zum Beispiel Wand oder Boden. Bei erhöhten Werten in einem Messbereich kann man von einem Feuchtigkeitsschaden ausgehen.
Die Anwendung dieser Methode erfordert Erfahrung, da Störfaktoren wie Metall, Ecken, Leitungen usw. zu berücksichtigen sind.
Die kapazitive Feuchtemessung ist sowohl für Holz als auch für mineralische Baustoffe geeignet.